熱式質(zhì)量流量計(jì)發(fā)展 ：
20世紀(jì)60年代，美國(guó)首先為宇航業(yè)所需氣體質(zhì)量控制開(kāi)發(fā)出熱式質(zhì)量流量計(jì)正式產(chǎn)品，其后應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的制造設(shè)備上，得到很大發(fā)展，后又?jǐn)U展到其他工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，近年來(lái)再工業(yè)應(yīng)用上從測(cè)量氣體擴(kuò)大到測(cè)量液體。
由于氣體熱式質(zhì)量流量計(jì)日趨成熟且應(yīng)用面不斷拓寬，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織(1SO)已制定有關(guān)"規(guī)范、檢驗(yàn)、安裝、運(yùn)行和校準(zhǔn)"氣體熱式質(zhì)量流量計(jì)的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IS014511：2001。
熱式質(zhì)量流量計(jì)：利用流動(dòng)中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測(cè)量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來(lái)測(cè)量流量的儀表。
基本原理：利用外熱源對(duì)被測(cè)流體加熱，測(cè)量因流體流動(dòng)造成的溫度場(chǎng)變化來(lái)反映質(zhì)顯流量。
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